非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备
正加网10月14日消息,佳能(Canon)公司近日发布佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者ASML不同,并非光刻,而更类似于印刷,没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。这套设备可以应用于最小14平方毫米的硅晶圆,从而可以生产相当于5nm工艺的芯片。佳能表示会继续改进和发展这套系统,未来有望用于生产2nm芯片。正加网注:纳米印刷(Nanoprintedlithography)通常被认为是光学光刻的低成本替代品,SK海力士和铠侠等存储芯片制造商过去曾尝试过使用。铠侠此前进行过测试,不过潜在客户提出投诉,认为产品缺陷率较高,最后选择放弃。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,正加网所有文章均包含本声明。
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