【薄膜厚度仅1微米，中子探测器关键技术碳化硼薄膜在东莞研制成功】具体的是什么情况呢，跟随小编一起来看看！
近日，南方财经全媒体记者从**散裂中子源获悉，位于东莞松山湖的**散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品，单片面积达到1500mm×500mm，薄膜厚度1微米，全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%，是目前**上用于中子探测的**面积的碳化硼薄膜。
位于东莞松山湖科学城的**散裂中子源被誉为观察微观世界的“超级显微镜”，而中子探测器就像这个大科学装置的“眼睛”，用来发现样品的微观结构。
当前，基于硼转换的中子探测器因其优异的性能已成为**上研究的热点，随着**散裂中子源(CSNS)二期工程即将启动，拟建的中子谱仪对大面积、**率、位置灵敏的新型中子探测器需求紧迫。
据了解，如何制备出高性能中子转换碳化硼薄膜是其中最核心的技术，目前也只有美国、欧洲等少数几个发达**掌握了该项技术。
2016年，在核探测与核电子学****实验室的支持下，**散裂中子源(CSNS)探测器团队与同济大学朱京涛教授合作，开始研制一台磁控溅射大面积镀硼专用装置，镀膜厚度范围为0.01~5微米，同时支持单、双面镀膜，支持射频和直流镀膜。
2021年6月，该装置通过了**实验室验收并投入使用。
经过多年的技术攻关和工艺试制，该团队攻克了溅射靶材制作、过渡层选择、基材表面处理等对镀膜质量影响大的关键技术，利用该装置制备了多种规格的碳化硼薄膜，并成功应用于**散裂中子源多台中子谱仪上的陶瓷GEM中子探测器，实现了中子探测器关键技术和器件的国产化，为接下来研制更大面积的高性能新型中子探测器提供了强**的技术支撑。
来源：21世纪经济报道
作者：程浩
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