赛微电子公告,控股子公司赛莱克斯北京代工制造的某款MEMS(简称为微机电系统)生物芯片通过了客户验证,该客户已同步签署试产订单,启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等,将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中,同时可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。
(文章来源:财联社)
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