光刻机之所以非常重要,主要是因为光刻工艺约占整个芯片制造成本的三分之一,耗时约占整个芯片制造时间的二分之一。因此,光刻机是芯片制造必不可少的设备。
然而,全球能够生产光刻机的企业并不多,除了荷兰ASML、日本的尼康和佳能外,就是我国的上海微电子了。近日,中企传出消息!首台上海微电子光刻机顺利搬入。
中企光刻机顺利搬入
传出该消息的是中企昆山同兴达,该公司成立才1年多,属于深圳同兴达的子公司。
深圳同兴达科技股份有限公司主要从事研发、设计、生产和销售LCD、OLED液晶显示模组和摄像头模组,在驱动IC应用领域深耕多年,是国内液晶显示模组龙头企业。
昆山同兴达拓展了公司产业新赛道,主营半导体/芯片先进封装测试相关。此次建厂为半导体先进封装项目,计划于3月完成设备调试及开始样品试制,5月份开始量产。
为此,昆山同兴达购买了2台上海微电子光刻机,每台价格1800万元。该设备为金凸块封测光刻机,跟铜、锡凸块相比,金凸块封测技术以黄金为凸块材料,优势更大。
明年8月项目达产后,产能将达到月产2万片全流程金凸块,生产规模在全国领先。
值得一提的是,这次引进的属于封测光刻机。光刻机除了按光源的先进程度分为EUV、DUV、UV外,按用途还可以分为芯片制造用的前道光刻机和封测用的后道光刻机。
封测光刻机跟平常我们常提的光刻机不一样,后道光刻的精度要求远低于前道光刻的要求,因此封测光刻机制造相对容易,我国上海微电子在封测光刻机方面非常领先。
目前,上海微电子封测光刻机在国内市场的份额达到80%左右,全球市场也占40%。
去年11月,上海微电子还推出了首台2.5D / 3D先进封装光刻机。在芯片设计、制造、封测三个环节中,封测的国产化程度最高。因此,国产封测在全球都处于领先地位。
上海微电子如何突围
不过,最关键的还是芯片制造用的前道光刻机,也是我们目前急需突破的。我们平常谈论最多的光刻机就是前道光刻机,比如用于7nm以下的EUV,7nm以上的DUV。
上海微电子虽然也可以做出前道光刻机,但相比光刻机巨头ASML差距还很大,目前仅突破了90nm的光刻机。但还有希望,据说28nm的DUV光刻机正在加速攻坚。
并且据相关人士透露消息,不只是28nm光刻机,14nm的光刻机也在研制与调试中。
中企所需的光刻机一般来自ASML,前段时间鼎泰匠芯、锐石创芯等中企陆续收到了ASML的光刻机。然而消息传来,继EUV被限制后,DUV光刻机也将被限制出货。
所以压力就传到了上海微电子,一旦DUV再被限制,就只能寄希望于国产DUV了。
去年以来,国内光刻相关的好消息不断传来。华为发布了光刻机技术相关的专利,北京国望光学光刻曝光系统研发及批量生产基地项目取得进展,正式进入批量生产。
尤其是光刻机的核心环节大都取得突破,华卓精科打破ASML技术垄断,全球第二家掌握双工件台核心技术。光源方面,科益虹源自主研发出首台高能准分子激光器。
上海微电子作为国产技术最领先的光刻机设备商,主要负责国产光刻机的整体生产。
光刻机的核心部件和技术实现国产化,有助于国产光刻机的研发进程。据了解,已有多家科研院所和企业的骨干力量在助力国产光刻机组装与测试,相信会尽快突破。
光刻机从生产再到上下游适配,中间遇到的难题很多,需要大量的时间、精力以及金钱去解决,目前正在努力向自主化靠近,在此之前还需要给予多一些耐心与支持。
连ASML总裁都表示,美方一味进行限制,中企将能够制造出与其匹敌的光刻机!