润欣科技(300493.SZ):已参与投资建设国内首个8英寸PZT薄膜化MEMS生长与加工平台

  

格隆汇5月9日丨润欣科技(300493)(300493.SZ)于2024年05月09日召开业绩说明会,就“在PZT压电薄膜工艺研究及平台建设项目上的投资回报预期是怎样的?”,公司回复称,项目支撑PZT压电薄膜沉积共性关键技术,包括低应力压电堆积薄膜沉积工艺、高机电耦合MEMS工艺、多层压电薄膜沉积,已参与投资建设国内首个8英寸PZT薄膜化MEMS生长与加工平台,为传感器厂商提供加工与工艺测试服务。项目预期2025年量产。


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